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晶圓HMDS烤箱預(yù)處理系統(tǒng)
晶圓HMDS烤箱預(yù)處理系統(tǒng)

晶圓HMDS烤箱預(yù)處理系統(tǒng)通過(guò)對(duì)烘箱預(yù)處理過(guò)程的工作溫度、處理時(shí)間、處理時(shí)保持時(shí)間等參數(shù)可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。

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HMDS預(yù)處理烘箱
HMDS預(yù)處理烘箱

HMDS預(yù)處理烘箱處理更加均勻,由于它是以蒸汽的形式涂布到晶片表面上，所以有液態(tài)涂布不可比擬更好的均勻性.

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